投影光刻機(jī)空氣隔振器的基本概念是在封閉的腔身體內(nèi)壓進(jìn)稀有氣體和油、或者燃?xì)饣旌衔镔|(zhì)。依據(jù)氣彈簧的結(jié)構(gòu)特征和作用，氣彈簧關(guān)鍵有隨意型氣彈簧、鎖緊型氣彈簧、隨便停氣彈簧、行走式氣彈簧、減振器幾類。

投影光刻機(jī)空氣隔振器是以汽體和液態(tài)為工作中物質(zhì)的一種彈性元件，由工作壓力管，活塞桿，液壓缸及多個(gè)連接件構(gòu)成,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)充有高壓氮?dú)?，因?yàn)樵诨钊麠U內(nèi)部結(jié)構(gòu)配有埋孔，活塞桿兩邊空氣壓力相同，而活塞桿兩邊的截面不一樣，一端接有液壓缸而另一端沒有，在空氣壓力功效下，造成向截面小的一側(cè)的工作壓力，即氣彈簧的彈性，彈力的大小可以根據(jù)設(shè)定不一樣的氫氣工作壓力或是不一樣孔徑的液壓缸而設(shè)置。與氣缸活塞桿不同的是，氣動(dòng)彈簧具備幾近線形的可塑性趨勢(shì)圖。規(guī)范氣動(dòng)彈簧的彈性系數(shù)X處于1.2和1.4中間，別的基本參數(shù)可依據(jù)規(guī)定及工作狀況靈便界定。

投影光刻機(jī)空氣隔振器又被稱作液壓桿、調(diào)角器、標(biāo)準(zhǔn)氣壓棒或減振器,是一種具備支撐點(diǎn)、緩存、制動(dòng)系統(tǒng)、相對(duì)高度調(diào)整和視角調(diào)整等作用的零配件。該配件在醫(yī)療器械、車輛、家俱、紡織機(jī)械設(shè)備、生產(chǎn)加工領(lǐng)域等行業(yè)被普遍應(yīng)用。氣彈簧關(guān)鍵有隨意型氣彈簧、鎖緊型氣彈簧、行走式氣彈簧、減振器等種類。